中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目中标公示

湖南长沙

2020-12-25

一、项目编号：

采招中心编号：HZ20200201-0215

采购代理编号：0623-2081N1106079

二、项目名称：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目

三、供应商投标情况：

四、中标信息

供应商名称：深圳摩世达科技有限公司

供应商地址：深圳市光明新区玉塘街道田寮社区同观路泰嘉乐科技工业园10楼1003单元

中标金额：2198700元

五、主要标的信息

中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目
序号	项目名称	规格型号	品牌	产地	数量/单位	单价（元）
1	主系统	掩膜光刻机主机硬件	EVG	奥地利	1套	363000
2	软件系统	基于Windows控制软件	EVG	奥地利	1套	45000
3	曝光系统	LED紫外光源	EVG	奥地利	1套	589000
4	光路	光源光学透镜组合	EVG	奥地利	1套	210000
5	光强计及探头	光强计及光强探头	0AI	美国	1套	59200
6	对准台	晶圆对准台	EVG	奥地利	1套	200000
7	顶部物镜转塔	转塔支持双物镜模式	EVG	奥地利	1套	51800
8	顶部对准系统	顶部物镜及CCD系统	EVG	奥地利	1套	280200
9	底部对准系统	底部物镜及CCD系统	EVG	奥地利	1套	147000
10	掩模版夹具	夹持掩模版夹具	EVG	奥地利	1套	96500
11	晶圆夹具	夹持晶圆夹具	EVG	奥地利	1套	97000
12	防震台	隔离防震桌面	定制	中国	1套	48000
13	真空泵	提供系统真空	定制	中国	1台	12000

六、评审专家名单：朱丽琴（主任评委）、尹俊文、李二平、李旭华、汪炼成（业主评委）

监委：马春德

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。投标供应商如对此公告有异议的，请于此公告发布之日起七个工作日内，以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。

八、其他补充事宜

本次中标公告同时在中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）、中南大学校园网（http://tz.its.csu.edu.cn/）、中南大学采购与招标管理中心（http://czzx.csu.edu.cn/）发布。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1、采购人信息

名称：中南大学

地址：长沙市麓山南路932号

联系人：张老师

联系方式：0731-88836937

2、招标代理机构信息

名称：湖南省招标有限责任公司

地址：长沙市雨花区湘府东路199号招标大厦

联系人：张女士王女士

联系方式：0731-84511088

3、项目联系方式

项目申购单位：高等研究中心

项目联系人：吴老师

联系电话：15200890109

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