1.蒸发器设计:温度控制在180℃;
2.液体控制:蠕动泵控制泵速满足≥2.331ml/min;
3.气体控制:配气仪调节载气流量 5L/min (200~450L/H);
4.机箱设计:4U机架式安装;
5.控制单元:1)配气按流量设定;2)泵速设定;3)恒温控制(内置)屏幕设置;4)触摸屏5.5寸;
6.在线控制软件:1)支持局域网络连接控制;2)登录用户可管理;3)支持实时曲线、历史数据存储、导出等功能;4)包含工艺主界面、系统控制界面、实时曲线界面、历史数据界面等;5)系统控制功能与仪器控制功能保持一致:支持流量设置、温度控制及启停等。