1.8米电源机柜:1台(含供电电源);
系统控制电源:1台;
水流报警系统:1套;
样品加热控温电源:1套;
输出系统控制电源:1套;
射频电源≥500W,1台,带有自动匹配的匹配器和控制器,射频频率为13.56MHz,电源长时间输出稳定性优于±0.5%,输入电压:AC180-250V,输入电流:5A,
直流电源≥500W,2台,直流源工作电压:0 V~800 V.工作电流≥1.0 A.
输出功率:0 W~500 W连续可调.电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式.
系统应具有完备的保护系统,并对关键部件有完备的故障报警及报警动作保护措施,确保设备使用安全.
系统应具备人机交互界面操作功能,可实现对设备中各部分模块参数的手动设置以及具体功能的手动控制,并可查询和导出系统运行过程中监测到的各种操作记录以及产生的各种数据记录,具备手动模式和自动操作模式.
系统可提供开放式工艺编辑、存储与调取执行,可实现控制自由组合,并一键式全自动运行.